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MEIDENSHA(明电舍）

MEIDEN 真空电容器 SCF-150.9Z 明电舍固定容量电容器
型号:SCF-150.9Z

类别：可变电容器

品牌：MEIDENSHA(明电舍）

文件名：

产品详情

明电舍(MEIDENSHA)真空电容器 MEIDEN高压真空电容

明电舍通过40年对真空断路器的开发制造，积蓄了该领域的丰富技术经验，成功开发制造出高性能,高信赖的真空电容器。真空机器的制造，通常有两种方式1）由真空泵不停排气方式,2)制造中的真空封闭方式。本公司的真空电容器，采用了真空封闭方式进行制造，并且采用了长时间保持真空状态的构造。其产品用于：液晶屏面板制造装置领域，太阳能电池板制造领域，医疗・测量机器领域，半导体制造装置领域，广播电视播放领域，科学研究领域等

真空电容器MEIVAC的特征是
高耐电压真空的耐电压高，易于实现小型化；
低损失可以适用于高RF频率；
大电流通电无整流子结构形式，适合大电流；
高信赖性具有自我恢复性，可以承受瞬间过电压；

规格

形式	SCV-155M	SCV-510M	SCV-514M
高峰试验电压 [kVp]	15	5	5
静电容量[pF]	50-500	50-1000	90-1400
RF动作电压 [kVp]	9	3	3
直线可变性 (pF/N)	42±4 (65pF 以上)	88±6 (80pF 以上)	115±8 (150pF 以上)
转速（回）	12±1	12±1	12±1
最大容许电流 [Arms] (at 13.56MHz)	100	100	100
回转转矩（N?cm） (kgf?cm)	24.5 2.5	24.5 2.5	24.5 2.5
重量（kg）尺寸（長度×直径） (mm)	1.3 140×φ73	1.35 140×φ73	1.4 140×φ73

真空电容器 MEIVAC
MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1 作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2 通信器材的发报线路，同调回路
3 诱电加热设备的共振回路
4 各种高频率电源的电压增幅回路
近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗
整合应用领域。

真空可变电容器
真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电
流低扭矩型（H系列）。

标准型特点
1 寿命长
  采用高强度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉
构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
  陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
  统一设为全长140MM（装置标准115MM），容易实现机器安装时的可更换性。

强电流低扭矩型特点
    强电流通电
    风扇采用铜合金新材料，可以实现强电流通电。（强电流规格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
    低扭矩
    H系列内部构造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驱动马达的微型化得以实现。
    长寿命
    采用高强度不锈钢风箱，通过可变范围二分之一以下的风箱寿命100万回转，以及高强度特殊螺钉构造，
能够实现可变范围二分之一的总回转达到1500万以上的超长寿命。

真空固定电容器

真空固定电容器的诱导体为真空，使用损耗较低的陶瓷作为绝缘体，极大的抑制了损耗系数。从而使电容器即
实现了微型化，又能耐高压和承受强大电流。
特点
  耐高压
  由于绝缘体是真空，绝缘体能承受很高的电压，即使在高电压回路中也安然无恙。
  低损耗
  真空诱电体能极大降低损耗。诱电体的损害只出现在构成真空容器的电容器两端的绝缘陶瓷以及导航用陶瓷
。
  微型化
  通过采用耐高压的特殊电极实现微型化。

FS系列～50Arms（13.56MHz）
支持小容量电源、超小型、丰富多彩的静电容量

■特点
●在采用不锈钢电极的电极上使用不锈钢材料，实现小型、高耐电压。
●中心销定位结构

类型	型号	^{静电容量※6}pF	电压 kVp		最大许可电流 ARMS			外形尺寸 mm	重量 kg
			电压 kVp		最大许可电流 ARMS
			RF运作中	峰值测试	13.56	40	60
			RF运作中	峰值测试	MHz	MHz	MHz
FS36S	SCF-51S^※4	100	3	5	18	38	34	L30 × φ36	〜0.2
	SCF-51.1S^※4	110	3	5	19	38	34
	SCF-51.2S^※4	120	3	5	21	38	34
	SCF-51.3S^※4	130	3	5	23	38	34
	SCF-51.4S^※4	140	3	5	25	38	34
	SCF-51.5S^※4	150	3	5	27	38	34
	SCF-52S^※4	200	3	5	36	38	34
FS36	SCF-150.1Z^※4	10	9	15	5	15	23	L43× φ36	〜0.2
	SCF-150.2Z^※4	20	9	15	10	31	34
	SCF-150.25Z^※4	25	9	15	13	38	34
	SCF-200.3Z^※4	30	12	20	21	38	34
	SCF-150.33Z^※4	33	9	15	17	38	34
	SCF-150.4Z^※4	40	9	15	21	38	34
	SCF-150.5Z^※4	50	9	15	27	38	34
	SCF-150.75Z^※4	75	9	15	40	38	34
	SCF-150.8Z^※4	80	9	15	43	38	34
	SCF-150.84Z^※4	84	9	15	45	38	34
	SCF-150.9Z^※4	90	9	15	48	38	34
	SCF-151Z^※8	100	9	15	50	38	34
	SCF-151.2Z^※8	120	9	15	50	38	34
	SCF-151.3Z^※8	130	9	15	50	38	34
	SCF-151.4Z^※8	140	9	15	50	38	34
	SCF-151.5Z^※8	150	9	15	50	38	34
	SCF-151.8Z^※8	180	9	15	50	38	34
	SCF-152Z^※8	200	9	15	50	38	34
	SCF-52.5Z^※8	250	3	5	45	38	34
	SCF-102.5Z^※8	250	6	10	50	38	34
	SCF-53Z^※8	300	3	5	50	38	34
	SCF-103Z^※8	300	6	10	50	38	34
	SCF-53.5Z^※8	350	3	5	50	38	34
	SCF-103.5Z^※8	350	6	10	50	38	34
	SCF-54Z^※8	400	3	5	50	38	34
	SCF-104Z^※8	400	6	10	50	38	34
	SCF-55Z^※8	500	3	5	50	38	34
	SCF-105Z^※8	500	6	10	50	38	34
FS43	SCF-152.2^※8	220	9	15	50	38	34	L43 × φ43	〜0.3
	SCF-152.5^※8	250	9	15	50	38	34
	SCF-153^※8	300	9	15	50	38	34
	SCF-56^※8	600	3	5	50	38	34
	SCF-57^※8	700	3	5	50	38	34
	SCF-58^※8	800	3	5	50	38	34
	SCF-59^※8	900	3	5	50	38	34
	SCF-510^※8	1000	3	5	50	38	34

型号列举

SCV-150.6HA55UW-C

SCV-152.5

SCF-150.33Z

SCV-150.75HA55UW-C

type2

SCF-150.4Z

SCV-200.5H55UW-C

SCV-7.55

SCF-150.5Z

SCV-151H55UW-C

SCV-55

SCF-150.75Z

SCV-201H55UW-C

SCV-155M

SCF-150.8Z

SCV-151.5FH55UW-C

SCV-205G

SCF-150.84Z

SCV-152.5H55UW-※2

SCV-510M

SCF-150.9Z

SCV-83.5FH55UW-C

SCV-1010G

SCF-151Z

SCV-55FH55UW-C

SCV-514M

SCF-151.2Z 120

SCV-85H55UW-C

SCV-1014G

SCF-151.3Z 1

SCV-310H55UW-C※2

SCV-204

SCF-151.4Z 1

SCV-510H55UW-C

SCV-1010

SCF-151.5Z 1

SCV-415H55UW-C

SCV-520M

SCF-151.8Z 1

SCV-125H65UW-C※2※3

SCV-201.7G

SCF-152Z 200

SCV-155H65UW-C

SCV-104G

SCF-52.5Z 25

SCV-810H65UW-C

SCV-300.2G

SCF-102.5Z 2

SCV-1010H65UW-C

SCV-250.3G

SCF-53Z 300

SCV-415H65UW-C※2※3

SCV-250.8G

SCF-103Z 300

SCV-515H65UW-C

SCV-151GT

SCF-53.5Z 35

VP110

SCV-152.5GT

SCF-103.5Z 3

VP150　

SCV-155GT

SCF-54Z 400

UW70

SCV-510GT

SCF-104Z 400

SCV-320H65UW-C

SCV-515GT

SCF-55Z 500

SCV-715H70UW-C

SCV-150.75GTB

SCF-105Z 500

FS36S FS36

SCV-53GTB

SCF-152.2 22

FS43

SCF-300.25H48C

SCF-152.5 25

FC52

SCF-300.5H48C

SCF-153 300

FC52A FC62

SCF-300.75H48C

SCF-56 600

FH48C FH65C

SCF-301H48C

SCF-57 700

FH52WR

SCF-351H48C

SCF-58 800

FHA52WR

SCF-251.25H48C

SCF-59 900

VP94L

SCF-251.5H48C

SCF-510 1000

SCV-251P94L

FHA52

VP94

SCV-202.2P94L

SCV-151HA52WR

VP110"

SCV-153.5P94L

SCV-151.5HA52WR

VP82

SCV-350.3P110

SCV-152HA52WR

VP82L VP94L"

SCV-351P110

SCV-153HA52WR

VP65"

SCV-201.5P110C

SCV-125HA52WR

SCV-514M 5KV-1400PF

SCV-251.5P110C

SCV-510HA52WR

SCV-205G （MWF034）

SCV-302P110

SCF-251.75H48C

SCF-200。5C

SCV-202.5P110C

SCF-252H48C

SCF-55Z

SCV-252.5P110C

SCF-151H52WR

SCV-250.8D

SCV-253.5P110

SCF-201H52WR

SCV-202D

SCV-205P110

SCF-151.5H52WR

SCF-153

VP65

SCF-152H52WR

SCV-520M

SCV-201P65

SCF-202H52WR

SCV-514M 5KV-1400PF

SCV-152P65C

SCF-152.1H52WR

SCF-150.1Z　　

SCV-202P65

SCF-152.5H52WR

SCV-7.55 (5KV-500pF）

SCV-152.5P65

SCF-153H52WR

SCV-155M(15KV-500pF)

SCV-202.5P65

SCF-153.5H52WR

SCV-251G

SCV-104P65FW

SCF-153.7H52WR

SCV-252G

SCV-124H65FW

SCF-124H52WR

SCV-252.5G

SCV-7.55P65FW

FH52

SCV-1020G

SCV-105P65FW

SCF-124.5H52WR

SCV-1510G

SCV-125P65DW

SCF-125H52WR

SCV-7.55H65

SCV-255P110

SCF-105.5H52WR

SCV-151H65

SCV-158P110FW 15

SCF-106H52WR

SCV-152H65

SCV-1510P110W 40

SCF-106.5H52WR

SCV-152.5H65

SCV-1051P110W 40

SCF-107H52WR

SCV-510H82

SCV-520P110W 40

SCF-56H52WR

SCV-105H82

SCV-820P110W 40

SCF-107.5H52WR

SCV-154H82

SCV-325P110FW 15

SCF-510H52WR

SCV-202H82

SCV-340P110W 45

SCF-810H52WR

SCV-202.2H84

VP82

SCF-512.5H52WR

SCV-250.8H84

SCV-155P65DW

SCF-315H52WR

SCV-514H94

SCV-310P65FW

SCF-515H52WR

SCV-107H94

SCV-410P65FW

SCF-317.5H52WR

SCV-155H94

SCV-510P65W

SCF-320H52WR

SCV-202.5H94

SCV-810P65W

FH65C

SCV-520H110

SCV-315P65DW

SCF-350.5H65C

SCV-1010H110

SCV-415P65DW

SCF-351H65C

SCV-205H110

SCV-202P82

SCF-351.5H65C

SCV-315H65G

SCV-155P82W

SCF-351.75H65C

SCV-105H65G

SCV-1010P82W

SCF-352H65C

SCV-201H65G

SCV-515P82W

SCF-352.5H65C

SCV-202H65G

SCV-520P82W

SCF-150.5C

SCV-202.5H65G

SCV-200.5P82L

SCF-151C

SCV-1010H82G

SCV-250.8P82L

SCF-151.5C

SCV-155H82G

SCV-201P82L

SCF-152C

SCV-204H82G

SCV-251P82L

SCF-150.5CA

SCV-252H82G

SCV-201.5P82L

FS36S

SCV-300.2H84G

SCV-202P82L

SCF-51S

SCV-1014H94G

SCV-202.2P82L

SCF-51.1S

SCV-157H94G

SCV-103.5P82LW

SCF-51.2S

SCV-205H94G

SCV-84P82LW

"SCF-51.3S

SCV-252.5H94G

VP150

SCF-51.4S

SCV-1020H110G

SCV-405P150

SCF-150.8CA

SCV-1510H110G

SCV-1525P150W

SCF-150.9CA

SCV-255H110G

SCV-560P150W

SCF-51.5S

SCF-200.5G

SCV-202.5P94 25

SCF-52S

SCV-152.5

"SCV-155P94

FC52A

SCF-152Z

FC62

SCV-85H55UW-C

SCV-520P94W 35

SCF-151CA

SCV-125H65UW-C

SCV-523P94W 45

SCF-151.2CA

SCF-151.5Z

SCV-150.5

SCF-151.5CA

SCV-85H55UW-NP

SCV-151

SCF-151.8CA

SCF-53Z

SCV-152

SCF-152.1CA

SCV-514

SCV-155G

SCF-200.1C

SCV-415H65UW-C

SCF-150.25Z

SCF-200.5C

SCF-201C

SCF-200.3Z

SCF-200.75C

SCF-201.5C

SCF-150.2Z

SCF-150.1Z

SCF-152.5H52WP

SCF-150.9Z

SCF-151

SCF-153.5H52WP

EC-128P70WP-322