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0755-28210050
MEIDENSHA(明电舍)
进口MEIDEN真空电容器 SCV-415H65UW-C
型号:SCV-415H65UW-C
类别:可变电容器
品牌:MEIDENSHA(明电舍)
产品详情
明电舍(MEIDENSHA)真空电容器 MEIDEN高压真空电容

明电舍通过40年对真空断路器的开发制造,积蓄了该领域的丰富技术经验,成功开发制造出高性能,高信赖的真空电容器。真空机器的制造,通常有两种方式1)由真空泵不停排气方式,2)制造中的真空封闭方式。本公司的真空电容器,采用了真空封闭方式进行制造,并且采用了长时间保持真空状态的构造。其产品用于:液晶屏面板制造装置领域,太阳能电池板制造领域,医疗・测量机器领域,半导体制造装置领域,广播电视播放领域,科学研究领域等
 
真空电容器MEIVAC的特征是
高耐电压 真空的耐电压高,易于实现小型化;
低损失 可以适用于高RF频率;
大电流通电 无整流子结构形式,适合大电流;
高信赖性 具有自我恢复性,可以承受瞬间过电压;
 
  
规格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰试验电压 [kVp] 15 5 5
静电容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF动作电压 [kVp] 9 3 3
直线可变性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上)
88±6
(80pF 以上)
115±8
(150pF 以上)
转速(回) 12±1 12±1 12±1
最大容许电流 [Arms]
(at 13.56MHz)
100 100 100
回转转矩(N?cm)
(kgf?cm)
24.5
2.5
24.5
2.5
24.5
2.5
重量(kg)
尺寸(長度×直径) (mm)
1.3
140×φ73
1.35
140×φ73
1.4
140×φ73
 
真空电容器 MEIVAC
MEIVAC真空电容器系列,是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1 作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2 通信器材的发报线路,同调回路
3 诱电加热设备的共振回路
4 各种高频率电源的电压增幅回路
近年来,由于半导体产业的发展,真空电容器的用途扩大至CVD,蚀刻,滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗
整合应用领域。
 
真空可变电容器
真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号,还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号,同时通过风箱构造以及增强材质的大电
流低扭矩型(H系列)。
  
标准型特点 
1 寿命长
  采用高强度的不锈钢风箱,实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉
构造,在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
  陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
  统一设为全长140MM(装置标准115MM),容易实现机器安装时的可更换性。 
 
强电流低扭矩型特点 
    强电流通电
    风扇采用铜合金新材料,可以实现强电流通电。(强电流规格:空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
    低扭矩
    H系列内部构造得到改良,小于18N.cm的低扭矩使得驱动马达的微型化得以实现。
    长寿命
    采用高强度不锈钢风箱,通过可变范围二分之一以下的风箱寿命100万回转,以及高强度特殊螺钉构造,
能够实现可变范围二分之一的总回转达到1500万以上的超长寿命。
 
真空固定电容器
   
真空固定电容器的诱导体为真空,使用损耗较低的陶瓷作为绝缘体,极大的抑制了损耗系数。从而使电容器即
实现了微型化,又能耐高压和承受强大电流。
特点
  耐高压
  由于绝缘体是真空,绝缘体能承受很高的电压,即使在高电压回路中也安然无恙。
  低损耗
  真空诱电体能极大降低损耗。诱电体的损害只出现在构成真空容器的电容器两端的绝缘陶瓷以及导航用陶瓷

  微型化
  通过采用耐高压的特殊电极实现微型化。

 
型号 峰值试验电压 RF动作电压 静电容量 最大许可容量电容 回转行程 回转数 尺寸
Type description Peak test Peak working Capacitance Max. RF current Max.torque Turns Dimensions
  voltage voltage (Min.-Max.) (13.56MHz)     (Length×Diameter)
  (50/60Hz) (13.56MHz)   空冷/Air cooled      
SCV-55 5kVp 3kVp 30-500pF 100Arms 24.5N・cm 12回转 L140×φ60mm
SCV-7.55 7.5kVp 4.5kVp 30-500pF
SCV-151 15kVp 9kVp 10-100pF
SCV-152 12-200pF
SCV-152.5 30-250pF
SCV-510M 5kVp 3kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-514M 90-1400pF
SCV-155M 15kVp 9kVp 50-500pF
SCV-520M 5kVp 3kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1010 10kVp 6kVp 80-1000pF
SCV-204 20kVp 12kVp 80-450pF
SCV-155G 15kVp 9kVp 25-500pF 90Arms 24.5N・cm 12回转 L140×φ62mm
SCV-251G 25kVp 15kVp 10-100pF
SCV-252G 12-200pF
SCV-252.5G 25-250pF
SCV-1010G 10kVp 6kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-1014G 90-1400pF
SCV-205G 20kVp 12kVp 50-500pF
SCV-1020G 10kVp 6kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1510G 15kVp 9kVp 80-1000pF
SCV-250.3G 25kVp 15kVp 6-30pF 27Arms 19.6N・cm 5.5回转 L100×φ60mm
SCV-250.8G 10-80pF 72Arms
SCV-300.2G 30kVp 18kVp 6-20pF 21Arms
SCV-104G 10kVp 6kVp 60-450pF 90Arms L100×φ63mm
SCV-201.7G 20kVp 12kVp 45-170pF
SCV-7.55H65 7.5kVp 4.5kVp 20-500pF 110Arms 18N・cm 14回转 L154×φ65mm
SCV-151H65 15kVp 9kVp 20-100pF
SCV-152H65 20-200pF
SCV-152.5H65 20-250pF
SCV-510H82 5kVp 3kVp 25-1000pF 130Arms 18N・cm 14回转 L154×φ82mm
SCV-105H82 10kVp 6kVp 25-500pF
SCV-154H82 15kVp 9kVp 25-400pF
SCV-202H82 20kVp 12kVp 25-200pF
SCV-202.2H84 20kVp 12kVp 15-220pF 130Arms 18N・cm 10.5回转 L125×φ84mm
SCV-250.8H84 25kVp 15kVp 12-80pF
SCV-514H94 5kVp 3kVp 30-1400pF 150Arms 18N・cm 14回转 L154×φ94mm
SCV-107H94 10kVp 6kVp 30-700pF
SCV-155H94 15kVp 9kVp 30-500pF
SCV-202.5H94 20kVp 12kVp 30-250pF
SCV-520H110 5kVp 3kVp 35-2000pF 160Arms 18N・cm 14回转 L154×φ110mm
SCV-1010H110 10kVp 6kVp 35-1000pF
SCV-205H110 20kVp 12kVp 35-500pF
SCV-315H65G 3kVp 1.8kVp 20-1500pF 100Arms 18N・cm 14回转 L154×φ65mm
SCV-105H65G 10kVp 6kVp 20-500pF
SCV-201H65G 20kVp 12kVp 20-100pF
SCV-202H65G 20-200pF
SCV-202.5H65G 20-250pF
SCV-1010H82G 10kVp 6kVp 25-1000pF 120Arms 18N・cm 14回转 L154×φ82mm
SCV-155H82G 15kVp 9kVp 25-500pF
SCV-204H82G 20kVp 12kVp 25-400pF
SCV-252H82G 25kVp 15kVp 25-200pF
SCV-300.2H84G 30kVp 18kVp 10-20pF 120Arms 18N・cm 10.5回转 L125×φ84mm
SCV-1014H94G 10kVp 6kVp 30-1400pF 140Arms 18N・cm 14回转 L154×φ94mm
SCV-157H94G 15kVp 9kVp 30-700pF
SCV-205H94G 20kVp 12kVp 30-500pF
SCV-252.5H94G 25kVp 15kVp 30-250pF
SCV-1020H110G 10kVp 6kVp 35-2000pF 150Arms 18N・cm 14回转 L154×φ1
SCV-1510H110G 15kVp 9kVp 35-1000pF
SCV-255H110G 25kVp 15kVp 35-500pF
 

     


型号列举

 
SCV-150.6HA55UW-C SCV-152.5 SCF-150.33Z
SCV-150.75HA55UW-C type2  SCF-150.4Z
SCV-200.5H55UW-C SCV-7.55 SCF-150.5Z
SCV-151H55UW-C SCV-55 SCF-150.75Z
SCV-201H55UW-C SCV-155M SCF-150.8Z
SCV-151.5FH55UW-C SCV-205G SCF-150.84Z
SCV-152.5H55UW-※2 SCV-510M SCF-150.9Z
SCV-83.5FH55UW-C SCV-1010G SCF-151Z
SCV-55FH55UW-C SCV-514M SCF-151.2Z 120
SCV-85H55UW-C  SCV-1014G SCF-151.3Z 1
SCV-310H55UW-C※2  SCV-204 SCF-151.4Z 1
SCV-510H55UW-C SCV-1010 SCF-151.5Z 1
SCV-415H55UW-C SCV-520M SCF-151.8Z 1
SCV-125H65UW-C※2※3 SCV-201.7G SCF-152Z 200
SCV-155H65UW-C SCV-104G SCF-52.5Z 25
SCV-810H65UW-C SCV-300.2G SCF-102.5Z 2
SCV-1010H65UW-C SCV-250.3G SCF-53Z 300 
SCV-415H65UW-C※2※3 SCV-250.8G SCF-103Z 300
SCV-515H65UW-C SCV-151GT SCF-53.5Z 35
VP110  SCV-152.5GT SCF-103.5Z 3
VP150   SCV-155GT SCF-54Z 400 
UW70  SCV-510GT SCF-104Z 400
SCV-320H65UW-C SCV-515GT SCF-55Z 500 
SCV-715H70UW-C SCV-150.75GTB SCF-105Z 500
FS36S FS36  SCV-53GTB SCF-152.2 22
FS43  SCF-300.25H48C SCF-152.5 25
FC52  SCF-300.5H48C SCF-153 300 
FC52A FC62  SCF-300.75H48C SCF-56 600 
FH48C FH65C  SCF-301H48C SCF-57 700 
FH52WR  SCF-351H48C SCF-58 800 
FHA52WR  SCF-251.25H48C SCF-59 900 
VP94L  SCF-251.5H48C SCF-510 1000
SCV-251P94L FHA52  VP94
SCV-202.2P94L SCV-151HA52WR VP110" 
SCV-153.5P94L SCV-151.5HA52WR VP82
SCV-350.3P110 SCV-152HA52WR VP82L VP94L" 
SCV-351P110 SCV-153HA52WR VP65" 
SCV-201.5P110C SCV-125HA52WR SCV-514M  5KV-1400PF
SCV-251.5P110C SCV-510HA52WR SCV-205G  (MWF034)
SCV-302P110 SCF-251.75H48C SCF-200。5C 
SCV-202.5P110C SCF-252H48C SCF-55Z
SCV-252.5P110C SCF-151H52WR SCV-250.8D
SCV-253.5P110 SCF-201H52WR  SCV-202D
SCV-205P110 SCF-151.5H52WR  SCF-153
VP65  SCF-152H52WR SCV-520M 
SCV-201P65 SCF-202H52WR SCV-514M   5KV-1400PF     
SCV-152P65C SCF-152.1H52WR  SCF-150.1Z  
SCV-202P65 SCF-152.5H52WR SCV-7.55 (5KV-500pF)
SCV-152.5P65 SCF-153H52WR SCV-155M(15KV-500pF)
SCV-202.5P65 SCF-153.5H52WR SCV-251G
SCV-104P65FW SCF-153.7H52WR SCV-252G
SCV-124H65FW SCF-124H52WR  SCV-252.5G
SCV-7.55P65FW FH52  SCV-1020G
SCV-105P65FW SCF-124.5H52WR SCV-1510G
SCV-125P65DW SCF-125H52WR SCV-7.55H65
SCV-255P110 SCF-105.5H52WR SCV-151H65
SCV-158P110FW 15  SCF-106H52WR SCV-152H65
SCV-1510P110W 40  SCF-106.5H52WR SCV-152.5H65
SCV-1051P110W 40  SCF-107H52WR SCV-510H82
SCV-520P110W 40  SCF-56H52WR SCV-105H82
SCV-820P110W 40  SCF-107.5H52WR SCV-154H82
SCV-325P110FW 15  SCF-510H52WR SCV-202H82
SCV-340P110W 45  SCF-810H52WR SCV-202.2H84
VP82  SCF-512.5H52WR  SCV-250.8H84
SCV-155P65DW SCF-315H52WR SCV-514H94
SCV-310P65FW SCF-515H52WR SCV-107H94
SCV-410P65FW SCF-317.5H52WR SCV-155H94
SCV-510P65W SCF-320H52WR SCV-202.5H94
SCV-810P65W FH65C  SCV-520H110
SCV-315P65DW SCF-350.5H65C SCV-1010H110
SCV-415P65DW SCF-351H65C SCV-205H110
SCV-202P82 SCF-351.5H65C SCV-315H65G
SCV-155P82W SCF-351.75H65C SCV-105H65G
SCV-1010P82W SCF-352H65C SCV-201H65G
SCV-515P82W SCF-352.5H65C SCV-202H65G
SCV-520P82W SCF-150.5C SCV-202.5H65G
SCV-200.5P82L SCF-151C SCV-1010H82G
SCV-250.8P82L SCF-151.5C SCV-155H82G
SCV-201P82L SCF-152C SCV-204H82G
SCV-251P82L SCF-150.5CA SCV-252H82G
SCV-201.5P82L FS36S  SCV-300.2H84G
SCV-202P82L SCF-51S SCV-1014H94G
SCV-202.2P82L SCF-51.1S SCV-157H94G
SCV-103.5P82LW SCF-51.2S SCV-205H94G
SCV-84P82LW "SCF-51.3S SCV-252.5H94G
VP150  SCF-51.4S SCV-1020H110G
SCV-405P150 SCF-150.8CA SCV-1510H110G
SCV-1525P150W SCF-150.9CA SCV-255H110G
SCV-560P150W SCF-51.5S  SCF-200.5G
SCV-202.5P94 25  SCF-52S  SCV-152.5 
"SCV-155P94 FC52A  SCF-152Z
  FC62  SCV-85H55UW-C
SCV-520P94W 35  SCF-151CA SCV-125H65UW-C
SCV-523P94W 45  SCF-151.2CA SCF-151.5Z
SCV-150.5 SCF-151.5CA SCV-85H55UW-NP
SCV-151 SCF-151.8CA SCF-53Z
SCV-152 SCF-152.1CA SCV-514
SCV-155G SCF-200.1C SCV-415H65UW-C
SCF-150.25Z SCF-200.5C SCF-201C
SCF-200.3Z SCF-200.75C SCF-201.5C
SCF-150.2Z SCF-150.1Z  
     
     


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